TDU-60 60千瓦研究开发型设备
泰克纳TDU – 60 不但可以简洁更换各种发应器，而且还可以进行实验数据资料备份记录，方便优化工艺等特点：
  |
|
设备特性
|
安装尺寸 (米，高X宽X长)：3.5 X 4 X 7 m (根据设备配置的不同而改变) 电力：440-480 V-3ph 输入功率：90 kVA 气体总流量：200 slpm 等离子体气体类型：Ar，Ar/H2，O2，N2，Air，Ar/He 操作压力： 30-120 kPa |
系统配置示例
|
|
|
|
|
TDU-60 喷涂设备 |
TDU-60 粉末球化设备 |
|
|
|
||
| TDU-60 纳米设备&气体回收装置 |
