VPF- Alimentateur de vapeurs
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L’évaporateur permet l’évaporation du liquide précurseur. Le précurseur sera pompé avec une pompe péristaltique directement au vaporiseur et vaporisé en ligne par l’évaporateur à une température maximale de 200 oC. Le système permet une surveillance constante du poids du liquide précurseur afin de permettre un ajustement précis de l’alimentation.
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